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復(fù)旦大學(xué)王熠華課題組開發(fā)成功帶超導(dǎo)針尖的nano-SQUID探頭

來源:復(fù)旦大學(xué)物理系      2023-06-21
導(dǎo)讀:掃描超導(dǎo)量子干涉顯微儀是目前最靈敏的磁探測(cè)技術(shù)之一,其兼具較好的空間分辨能力,是介觀尺度下研究量子材料強(qiáng)有力的工具。借助集成電路微納加工技術(shù)可在硅片上大規(guī)模制備nano-SQUID探頭,并集成梯度計(jì)結(jié)構(gòu)、調(diào)制線圈、場(chǎng)線圈等部件以實(shí)現(xiàn)各種拓展功能?;趫?chǎng)線圈的局域磁化率測(cè)量能力在超導(dǎo)、磁性等體系的研究中發(fā)揮著不可或缺的作用。然而,nano-SQUID芯片的平面結(jié)構(gòu)限制了檢測(cè)線圈與樣品的距離從而將空間分辨率限制在亞微米量級(jí),如何在保留各功能電路的情況下提高空間分辨率是一個(gè)難題。

王熠華課題組運(yùn)用自主發(fā)展的飛秒激光三維納米直寫技術(shù)在nano-SQUID芯片頭部打印了針尖(圖1),蒸鍍上超導(dǎo)材料后通過聚焦離子束刻蝕在超導(dǎo)針尖上進(jìn)一步加工出了百納米級(jí)的小孔和細(xì)縫。超導(dǎo)體的麥斯那屏蔽效應(yīng)將阻礙磁感線穿過超導(dǎo)殼層,因此只有小孔下方的磁信號(hào)能被nano-SQUID檢測(cè)線圈收集從而實(shí)現(xiàn)空間分辨率的提高。并且,超導(dǎo)針尖能聚焦場(chǎng)線圈所產(chǎn)生的磁場(chǎng)以進(jìn)行更加局域的磁化率測(cè)量。針尖的集成也使得nano-SQUID在磁成像的同時(shí)還能進(jìn)行原子力顯微得到形貌圖像。這一結(jié)果建立了在平面電路上構(gòu)建三維超導(dǎo)結(jié)構(gòu)的方法,突破了片上器件的幾何局限,為基于磁通的納米超導(dǎo)量子器件在介觀尺度更廣泛的應(yīng)用打下了基礎(chǔ)。

該工作近日以“Flux focusing with a superconducting nano-needle for scanning SQUID susceptometry”為題在線發(fā)表于Microsystems & Nanoengineering.

該工作得到了科技部重點(diǎn)研發(fā)計(jì)劃、國(guó)家自然科學(xué)基金委、上海市科委等基金項(xiàng)目的支持。

論文鏈接:

https://www.nature.com/articles/s41378-023-00553-9

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圖1:(a)-(e) 在nano-SQUID芯片上利用超快激光三維納米打印和制備超導(dǎo)針尖流程圖。(f)-(g) 成品器件電子顯微鏡照片。(h) 加工后器件噪聲譜,磁靈敏度無(wú)退化。


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